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MSCT-SA025TPL013TC025A1-CR10BT

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MSCT-SA025TPL013TC025A1-CR10BT

CR10是应用在10nm-20nm制程故障分析。

  • 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系统上
  • 不须经过化学清洗过程即可使用
  • 在包装之前，每支针皆有经过SEM检查
  • 裸针阻值在50欧姆以下
  • 经过衡升科技独特MST技术，以增加产品的均匀性
  • 适用于10nm-20nm制程故障分析

材质 纯钨 镀膜 NA
线径(WD) 0.25mm 总针长(TPL) 12.5mm
针尖长度(TC) 2.5mm 针尖宽度(TBD) -
针尖夹角 A1 曲率半径(CR) <10nm
弯针服务 Yes 套不锈钢管服务 Yes
应用 10nm-20nm制程元件故障分析
MSCT - SA 025 TPL013 TC025 A1 - CR10 BT
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  1. 探针应用: SA系列使用在SEM的奈米点针机台做电性量测分析
  2. 探针线径(WD): 0.25mm
  3. 总针长(TPL): 12.5mm
  4. 针尖长度(TC): 2.5mm
  5. 针尖夹角型号: A1
    可选择之针尖夹角: A1, A2
  6. 曲率半径(CR): <10nm
    针尖到50nm的位置，直径范围为45nm-55nm
  7. 探针预弯以及装入管材服务，管长有13mm及17mm可供选择。
    标准弯针角度为34度，可依客户指定调整。

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