产品管理
MSCT-SA025TPL013TC025A2-CR35BT
CR35是应用在20nm-45nm制程故障分析。
- 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系统上
- 不须经过化学清洗过程即可使用
- 在包装之前,每支针皆有经过SEM检查
- 裸针阻值在50欧姆以下
- 经过衡升科技独特MST技术,以增加产品的均匀性
- 适用于20nm-45nm制程故障分析
材质 | 纯钨 | 镀膜 | NA |
线径(WD) | 0.25mm | 总针长(TPL) | 12.5mm |
针尖长度(TC) | 2.5mm | 针尖宽度(TBD) | - |
针尖夹角 | A2 | 曲率半径(CR) | <35nm |
弯针服务 | Yes | 套不锈钢管服务 | Yes |
应用 | 20nm-45nm制程元件故障分析 |
MSCT | - | SA | 025 | TPL013 | TC025 | A2 | - | CR35 | BT |
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- 探针应用: SA系列使用在SEM的奈米点针机台做电性量测分析
- 探针线径(WD): 0.25mm
- 总针长(TPL): 12.5mm
- 针尖长度(TC): 2.5mm
- 针尖夹角型号: A2
可选择之针尖夹角: A1, A2 - 曲率半径(CR): <35nm
针尖到50nm的位置,直径范围为65nm-80nm - 探针预弯以及装入管材服务,管长有13mm及17mm可供选择。
标准弯针角度为45度,可依客户指定调整。