产品管理
MSCT-SA025TPL013TC025-CR14BT
CR14是应用在10nm-20nm制程故障分析。
- 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系统上
- 不须经过化学清洗过程即可使用
- 在包装之前,每支针皆有经过SEM检查
- 裸针阻值在50欧姆以下
- 经过衡升科技独特MST技术,以增加产品的均匀性
- 适用于10nm-20nm制程故障分析
材质 | 纯钨 | 镀膜 | NA |
线径(WD) | 0.25mm | 总针长(TPL) | 12.5mm |
针尖长度(TC) | 2.5mm | 针尖宽度(TBD) | - |
针尖夹角 | - | 曲率半径(CR) | <14nm |
弯针服务 | YES | 套不锈钢管服务 | YES |
应用 | 10nm-20nm制程元件故障分析 |
MSCT | - | SA | 025 | TPL013 | TC025 | - | CR14 | BT |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
(1) | (2) | (3) | (4) | (5) | (6) |
- 探针应用: SA系列使用在SEM的奈米点针机台做电性量测分析
- 探针线径(WD): 0.25mm
- 总针长(TPL): 12.5mm
- 针尖长度(TC): 2.5mm
- 曲率半径(CR): <14nm
针尖到50nm的位置,直径范围为45nm-55nm - 探针预弯以及装入管材服务,管长有13mm及17mm可供选择。
标准弯针角度为40度,可依客户指定调整。