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MSCT-SA025TPL013TC025-UCR5+B

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MSCT-SA025TPL013TC025-UCR5+B

Ultra CR5+ 是應用在3nm製程故障分析。
Plus 型號有著更銳利的針間夾角更纖細的針身。

  • 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Jeol以及Zeiss系统上
  • 不须经过化学清洗过程即可使用
  • 在包装之前，每支针皆有经过SEM检查
  • 裸针阻值在50奥姆以下
  • 经过衡升科技独特MST技术，以增加产品的均匀性
  • 针径可做选配，目前可选配宽度为：0.1mm, 0.25mm, 0.3mm, 0.5mm, 0.6mm
  • 适用于3nm以下制程故障分析

 

材质 纯钨 镀膜 NA
线径( WD) 0.25mm 总针长 (TPL)  13mm
针尖长度 ( TC) 2.5mm 针尖宽度(TBD) -
针尖夹角 - 曲率半径(CR) <5nm
弯针服务 Yes 套不锈钢管服务 -
应用 ≤3nm 制程组件故障分析
MSCT - SA 025 TPL013 TC025 - UCR5 + B
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  1. 探針應用︰SA系列使用在SEM的奈米點針機台做電性量測分析
  2. 探針線徑(WD)：0.25mm
  3. 總針長(TPL): 13mm
  4. 針尖長度(TC): 2.5mm
  5. 曲率半徑(CR): <5nm
    針尖到100nm的位置,直徑範圍為25nm-35nm
  6. Plus型號。
    跟標準的UCR5做比較，從針尖到50nm的位置整體更細上了25%
  7. 探針預彎服務。
    標準彎針角度為34度，可依客戶指定調整。

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