衡陞科技提供探針座可供電性量測

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衡陞科技提供探針座可供電性量測

  • 產品消息
  • ·
  • 2020-09-26
衡陞科技提供探針座可供電性量測

衡陞設計的針座由三部分組成(如下述說明),每一個部分可以供客戶選擇來組合成客戶所想要使用的樣貌,且每一個部分可以獨立維修,因此有高度的彈性可以進行購買及維修。

  

Positioner- 可以精準調整X,Y, Z軸的移動

      1.可選擇真空或磁力固定
      2.X, Y, Z軸的調整精度為2.5um.
      3.可移動距離為±5mm
      4.允許額外安裝電氣模塊
      5.有兩種型號可以選擇:
Base Plane Size ( L*W*H ): 70mm*40mm*80mm Base Plane Size ( L*W*H ): 60mm*20mm*80mm

Tip Arm- 可以安裝Tip Holder 並且可以粗略的移動

     1.有三種型號可以做選擇:

       (1) T type

            a. T type tip arm 來裝 tip holder 並且可以使用旋轉鈕來進行粗調
            b. 可以調整θ Ø 的角度

             c. 4種樣式可以選擇

       (2) L type

            a. L type 的 tip arm來裝 tip holder 並且可以手動調整 θ 角度
             

       (3) BP type

            a. 可以固定BPtip holder.
            b. 可以將tip holder 固定在不同的位置上
            c. 可以手動調整 tip arm的高度
             

Tip Holder- 可以用來放置探針

     1. 超低的leakage tip holder,可以精確的量測出數據
     2. 可以選擇二軸纜線(10uA) 或是三軸纜線(10pA)
     3. 有兩種型號供選擇

       (1) MSCT-TH1CRL type

           a.可選擇1m  1.5m 長的纜線
           b.可選擇兩種不同的纜線:94mm* Ø 10mm or 144mm* Ø 10mm

            

       (2) BP type

           a. 可選擇1m 1.5m 長的纜線