產品管理
MSCT-SA025TPL013TC025-CR3
CR3是應用在5nm以下製程故障分析。
- 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Jeol以及Zeiss系統上
- 不須經過化學清洗過程即可使用
- 在包裝之前,每支針皆有經過SEM檢查
- 裸針阻值在50歐姆以下
- 經過衡陞科技獨特MST技術,以增加產品的均勻性
- 適用於5nm以下製程故障分析
材質 | 純鎢 | 鍍膜 | NA |
線徑(WD) | 0.25mm | 總針長(TPL) | 12.5mm |
針尖長度(TC) | 2.5mm | 針尖寬度(TBD) | - |
針尖夾角 | - | 曲率半徑(CR) | 3nm |
彎針服務 | - | 套不鏽鋼管服務 | - |
應用 | 5nm以下製程元件故障分析 |
MSCT | - | SA | 025 | TPL013 | TC025 | - | CR3 |
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- 探針應用: SA系列使用在SEM的奈米點針機台做電性量測分析
- 探針線徑(WD): 0.25mm
- 總針長(TPL): 12.5mm
- 針尖長度(TC): 2.5mm
- 曲率半徑(CR): 3nm
針尖到50nm的位置,直徑範圍為25nm-35nm