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MSCT-SA025TPL013TC025-CR5BT

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MSCT-SA025TPL013TC025-CR5BT

CR5 是應用在5nm-10nm製程故障分析。

  • 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Jeol以及Zeiss系統上
  • 不須經過化學清洗過程即可使用
  • 在包裝之前，每支針皆有經過SEM檢查
  • 裸針阻值在50歐姆以下
  • 經過衡陞科技獨特MST技術，以增加產品的均勻性
  • 適用於5nm-10nm製程故障分析

材質 純鎢 鍍膜 NA
線徑(WD) 0.25mm 總針長(TPL)  12.5mm
針尖長度(TC) 2.5mm 針尖寬度(TBD) -
針尖夾角 - 曲率半徑(CR) <5nm
彎針服務 Yes 套不鏽鋼管服務 Yes
應用 5nm-10nm製程元件故障分析
 
MSCT - SA 025 TPL013 TC025 - CR BT
    (1) (2) (3) (4)   (5) (6)
  1. 探針應用: SA系列使用在SEM的奈米點針機台做電性量測分析
  2. 探針線徑(WD): 0.25mm
  3. 總針長(TPL): 12.5mm
  4. 針尖長度(TC): 2.5mm
  5. 曲率半徑(CR): <5nm
    針尖到50nm的位置，直徑範圍為35nm-45nm
  6. 探針預彎已及裝入管材服務，管長有13mm及17mm可供選擇。
    標準彎針角度為34度，可依客戶指定調整。

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