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MSCT-SA025TPL013TC025A2-CR20
CR5 是应用在5nm-10nm的制程故障分析。
- 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系统上
- 不须经过化学清洗过程即可使用
- 在包装之前,每支针皆有经过SEM检查
- 裸针阻值在50欧姆以下
- 经过衡升科技独特MST技术,以增加产品的均匀性
- 适用于14nm-20nm制程故障分析
材质 | 純鎢 | 鍍膜 | NA |
線徑(WD) | 0.25mm | 總針長(TPL) | 12.5mm |
針尖長度(TC) | 2.5mm | 針尖宽度(TBD) | - |
針尖夾角 | A2 | 曲率半徑(CR) | <20nm |
彎針服務 | - | 套不銹鋼管服務 | - |
應用 | 14nm-20nm製程元件故障分析 |
MSCT | - | SA | 025 | TPL013 | TC025 | A2 | - | CR20 |
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- 探針應用: SA系列使用在SEM的奈米點針機台做電性量測分析
- 探針線徑(WD): 0.25mm
- 總針長(TPL): 12.5mm
- 針尖長度(TC): 2.5mm
- 針尖夾角型號: A2
可選擇之針尖夾角: A1, A2 - 曲率半徑(CR): <20nm
針尖到50nm的位置,直徑範圍為45nm-55nm