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MSCT-MS060TPL012TC02-CR3

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MSCT-MS060TPL012TC02-CR3

CR3 是应用在3nm以下的制程故障分析。

  • 可使用在Hitachi 奈米点针台系统上
  • 不须经过化学清洗过程即可使用
  • 在包装之前，每支针皆有经过SEM检查
  • 裸针阻值在50欧姆以下
  • 经过衡升科技独特MST技术，以增加产品的均匀性
  • 适用于3nm以下制程故障分析

 

 

 

 

 

材质 纯钨 镀膜 NA
铜管直径(CTD) 0.6mm 总针长(TPL)  12.5mm
针尖长度(TC) 2mm 针尖宽度(TBD) -
针尖夹角 - 曲率半径(CR) 3nm
应用 3nm以下制程元件故障分析

 

 

 

MSCT - MS 060 TPL012 TC02 - CR3
    (1) (2) (3) (4)   (5)
  1. 探针应用︰MS系列使用在 Hitachi的SEM 奈米点针机台做电性量测分析
  2. 铜管直径(CTD): 0.6mm
  3. 总针长(TPL): 12.5mm
  4. 针尖长度(TC): 2mm
  5. 曲率半径(CR): 3nm
    针尖到50nm的位置,直径范围为25nm-35nm

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