產品管理
MSCT-MS060TPL012TC02A2-CR10
CR10 是應用在10nm-14nm的製程故障分析。
- 可使用在Hitachi 奈米點針台系統上
- 不須經過化學清洗過程即可使用
- 在包裝之前,每支針皆有經過SEM檢查
- 裸針阻值在50歐姆以下
- 經過衡陞科技獨特MST技術,以增加產品的均勻性
- 適用於10nm-14nm製程故障分析
材質 | 純鎢 | 鍍膜 | NA |
銅管直徑(CTD) | 0.6mm | 總針長(TPL) | 12.5mm |
針尖長度(TC) | 2mm | 針尖寬度(TBD) | - |
針尖夾角 | A2 | 曲率半徑(CR) | <10nm |
應用 | 10nm-14nm 製程元件故障分析 |
MSCT | - | MS | 060 | TPL012 | TC02 | - | A2 | CR10 |
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- 探針應用︰MS系列使用在 Hitachi的SEM 奈米點針機台做電性量測分析
- 銅管直徑(CTD): 0.6mm
- 總針長 (TPL): 12.5mm
- 針尖長度 (TC): 2mm
- 針尖夾角: A2
可選擇之針尖夾角: A1, A2 - 曲率半徑(CR): <10nm
針尖到50nm的位置,直徑範圍為45nm-55nm