MESOSCOPE設計了高經度的針座,可精確控制探針尖端。
MESOSCOPE 的針座包含了以下三部分:
Positioner: 通過旋轉旋鈕精確調整X,Y,Z軸的移動。
Tip Arm: 各種Tip arm,可避免受到探針台的任何影響。
Tip Holder: 低漏電 tip holder,兩種主要設計適用於不同應用。
- 基本尺寸 ( L*W*H ): 105mm*78mm*103mm
- X,Y,Z的調整精度為 2.5um
- 可移動距離為±5mm
- 真空或磁性皆可選擇
- 允許額外安裝電氣模塊
MSTC |
- |
M |
L |
DC |
M |
P3M |
|
|
(1) |
(2) |
(3) |
(4) |
(5) |
- 磁性固定
- 左側
- DC 量測應用
- 中階
- 有三個位置可以移動